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		nmat4896-Synthesis of Ti3AuC2, Ti3Au2C2 and Ti3IrC2 by noble metal substitution reaction in Ti3SiC2 for high-temperature-stable Ohmic contacts to SiC
		
          
	
          
		
		
          
	
          
	
          
        
          
			
			
          
				
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					sic
					ohmic
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					metal
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